扩散硅压力传感器
扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理，制成应变电阻，构成惠斯凳电桥。扩散硅压力传感器有适合制作小量程的传感器、输出灵敏度高、精度高等特点。 扩散硅压力传感器工作原理：被测介质的两种压力通入高、低两压力室，低压室压力采用大气压或真空，作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上，通过隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧
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