基于此，新松开始进军半导体装备领域：2009年、2011年新松开始承担两大国家集成电路“02专项“项目，加大了对半导体设备的研发；2018年，新松机器人开始设立半导体装备BG，主要面向以芯片制造，面板制造为代表的泛半导体领域，提供设备与自动化解决方案。目前，新松已经成功研发了国内首台具有独立知识产权的新型双臂大气机械手，并且通过了终端用户华创、中微等客户验证。
除了在产品开发上加大力度，新松在资本层面也采取了相应动作。2018年1月，新松以约6．4亿元人民币收购韩国半导体设备企业新盛旗下公司80％的股权。不难看出，通过这些举措，新松希望在下一个行业爆发点来临前抢占先机。
8月20日，新松机器人宣称拟募资18．03亿元主要用于建设半导体领域半导体设备及自动化项目，用于IC真空机械手及集束型设备项目、半导体自动物料搬运系统项目、半导体物料管理控制系统项目以及补充流动资金。上述三个项目建成后，年预计可实现年均营业收入约10．05亿元、11．90亿元、1．8亿元，合计达到23．75亿元。而去年公司全年营收27．45亿元，此次扩产项目若达成目标将增加营收85％。
目前，新松现已形成体系完整、系列丰富、应用广泛的产品线。新松半导体装备主要分为设备自动化和工厂自动化（AMHS）两大类产品。
设备自动化主要系洁净（真空）机械手和集束型设备，其中包括真空直驱机械手、双臂真空直驱机械手、一体化真空直驱机械手、大负载真空机械手、大气机械手、晶圆处理系统、真空传输平台等，工厂自动化（AMHS）主要产品有OHT、Stocker（洁净存储系统）、MR（复合机器人）等。公司半导体装备业务面对的客户群体涵盖半导体工艺设备厂商、半导体制造厂商和面板厂商。随着半导体设备国产化的加速，公司半导体装备业务迎来良好的发展机遇。
目前，新松洁净机器人已彻底打破国外同类企业在半导体领域的垄断局面，拥有国内市场50％以上份额。