微型机器人是典型的微机电系统。世界各国已经在微型机器人的研究方面取得了不少成果。微型机器人的发展依赖于微加工工艺、微传感器、微驱动器和微结构四个方面。这四个方面的基础研究有三个阶段：器件开发阶段、部件开发阶段、装置和系统开发阶段。
一、微型机器人的行走机构
微型机器人要有自动行走(或爬行、的能力)，就必须有行走机构。微机器人的行走机构主要有：
1、轮式行走机构，只适宜在较平坦的地面上行驶。
2、履带式行走机构，可以在不平坦的地面上行驶。
3、用脚行走，用得最多的是四脚和六脚的行走机构，如要求在不平坦的地面上行走，则机构较复杂。
4、靠惯性或自动伸缩的步进蠕动式行走机构。
5、在液体中用螺旋桨或其他方式推动前进的驱动机构。
二、微型机器人分类
目前开发的微型机器人有以下三大类：
1、固定型微型机器人：其外观像石头、树木、花草，装有各种微型传感器，可以探测出人体的红外辐射、行走时的地面振动、金属物体移动造成的磁场变化等，并将信号传送到中央指挥部，指挥部可控制防御区内的武器自动发起攻击。
2、机动式的微型机器人：它们装备有太阳能电池板和计算机，可以按照预定程序机动进入敌人阵地与敌人同归于尽。
3、生物型微型机器人：研究将微型传感器安装到动物或昆虫身上，构成微型生物机器人，使其进人人类无法到达的地方，执行战斗或侦察任务。
鉴于微型机器人巨大的技术潜力和应用前景，美国国家航空航天局NASA、喷气推进实验室NASA/JPL、和DARPA合作，从1996年起制定出一系列计划，进行空间和军用微型机器人的研究开发。例如，火星漫游微型机器人Sojourner于1997年7月在火星着陆，长60 em，高和宽分别为30 C1TI，自重约为11 kg，装有摄像机和多种传感器等。